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潔凈度等級標準ISO 14644根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um范圍內呈累積分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。


1、 美國聯邦標準(USA Federal Standard)209E(1992年)

潔凈度級別

粒   徑(um)

 

0.1

0.2

0.3

0.5

5.0

1

35.0

7.50

3.00

1.00

NA

10

350

75.0

30.0

10.0

NA

100

NA

750

300

100

NA

1000

NA

NA

NA

1000

7.0

10000

NA

NA

NA

10000

70.3

100000

NA

NA

NA

100000

700

 

單位:塵埃數量個/ft3

 

2、空氣潔凈度分級標準:ISO14644-1 (國際標準) 

 空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

 

 

 

 

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

 

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

 

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

 

35 200 000

8 320 000

293 000

注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平。

 

3、空氣潔凈度分級標準:GB/T16292-1996(中國標準)

 粒徑、數值潔凈度級別

塵埃最大允許數/立方米

微生物最大允許數

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100 級

3,500

0

5

1

10,000 級

350,000

2,000

100

3

100,000 級

3,500,000

20,000

500

10

300,000 級

10,500,000

60,000

15

 

4、英國5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級:

 空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

0.3um

0.5um

5um

10um

25 um

C

100

35

0

 

 

D

1000

350

0

E

10000

3500

0

F

 

3500

0

G

100000

35000

200

0

H

 

35000

200

0

J

 

350000

2000

450

0

K

 

3500000

20000

4500

500

L

 

 

200000

45000

5000

M

 

450000

50000

 

5、各種國際標準的比較: 

 美國聯邦

美國聯邦

英國標準

澳大利亞標準

法國標準

德國標準

國際標準

日本標準

標準 209D

標準 209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24

 

 

 

 

 

 

1

1

 

 

 

 

0

2

2

1

M1.5

C

0.035

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8

 

 

M

 

 

7

9

美國聯邦

美國聯邦

英國標準

澳大利亞標準

法國標準

德國標準

國際標準

日本標準


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